項目名稱：北京懷柔實驗室2023年第四批科研設備采購項目
項目編號：1495-234thhrlab04/03
招標范圍：產品名稱：臺階儀設備 數量：2臺 簡要技術規格：臺階儀是臺階一種半導體芯片過程檢測設備，具體規格如下： 1)臺階儀1臺，儀設用于金屬前道工藝量測硅片表面介質膜干法刻蝕的備中標結臺階，重復性≤0.45埃； 2)臺階儀1臺，果公告用于金屬后道工藝量測硅片表面介質膜濕法腐蝕的臺階臺階，重復性≤0.45埃。儀設
招標機構：天恒招標有限公司
招標人：北京懷柔實驗室
開標時間：2023-06-30 09:30
公示時間：2023-07-03 17:14 - 2023-07-06 23:59
中標結果公告時間：2023-07-07 14:24
中標人：瑞德儀實業有限公司
制造商：Bruker Nano Inc.
制造商國家或地區：馬來西亞
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