近日，基發間分“2023功率與光電半導體器件設計及集成應用論壇”于西安召開。光芯高空論壇由第三代半導體產業技術創新戰略聯盟（CASA）指導，辨光西安交通大學、學表極智半導體產業網（www.casmita.com）、基發間分第三代半導體產業主辦，光芯高空西安電子科技大學、辨光中國科學院半導體研究所、學表第三代半導體產業技術創新戰略聯盟人才發展委員會、基發間分全國半導體應用產教融合（東莞）職業教育集團聯合組織、光芯高空西安和其光電股份有限公司等單位協辦。辨光

期間，學表“平行論壇2：光電子器件及應用”上，基發間分西安交通大學研究員李虞鋒帶來了“SNOM對GaN基發光芯片的光芯高空高空間分辨光學表征”的主題報告，近場光學技術，辨光克服了傳統光學顯微鏡的衍射極限，可以實現超分辨率顯微觀測。報告分享了SNOM技術原理、技術特點與研究思路，空氣腔陣列圖案化藍寶石基板生長量子阱，半極性 (20-21)藍色和綠色量子阱，金屬等離子體增強型量子阱等研究進展。

報告指出，利用SNOM探究了空氣腔陣列結構LED空間分辨的發光特性，研究發現空氣腔結構改善了外延的晶體質量、應力以及光提取效率，從而導致空氣腔區域的IQE和EQE提高；空氣腔區域晶體質量的改善提高了有效載流子濃度，導致大功率下空氣腔區域中與俄歇復合相關的非輻射復合增加，droop加劇；利用SNOM探究了（20-21）半極性雙波長LED的發光特性，研究發現TDs、SFs和幾乎無缺陷區域的周期性交替分布導致PL強度和應力呈現周期性波動。

其中，幾乎無缺陷的區域B，PL強度最高，應力最大，表現出最強的QCSE；綠光的峰值波長主要受In組分而不是QCSE的影響，而藍光的峰值波長主要由應力導致的QCSE決定；綠光的半峰寬受缺陷的影響更為顯著，而藍光的半峰寬受QCSE的影響更為明顯。利用SNOM探究了LSP耦合增強雙波長藍光QWs的微觀特性，研究發現：觀察到LSP耦合效應隨耦合距離和激發功率變化逐漸演變的過程；隨耦合距離減小，效率droop加重，說明當QWs自身的輻射復合較強時，LSP對效率droop產生的是負面影響。

審核編輯：劉清