小伙伴們,簡(jiǎn)述你們好,簡(jiǎn)述今天小城來聊聊一篇關(guān)于PACVD,簡(jiǎn)述關(guān)于PACVD簡(jiǎn)述的簡(jiǎn)述文章,網(wǎng)友們對(duì)這件事情都比較關(guān)注,那么現(xiàn)在就為大家來簡(jiǎn)單介紹下,簡(jiǎn)述希望對(duì)各位小伙伴們有所幫助。簡(jiǎn)述
1、簡(jiǎn)述 PACVD 離子加強(qiáng)化學(xué)氣相沉積是簡(jiǎn)述在高度真空環(huán)境,溫度低于 200 ℃的簡(jiǎn)述情況下,沉積極度光滑,簡(jiǎn)述粘著性能好的無定形金剛石硬質(zhì)合金涂層。
2、相對(duì) PVD 工藝, PaCVD 工藝應(yīng)用深鍍電源,無需陰極靶材,同時(shí)工件在爐膛中無需旋轉(zhuǎn),該工藝為干凈無污染,可靠,和多性能的涂層工藝。
3、 PACVD 又叫 PECVD 。
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