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芯粵能半導體碳化硅芯片制造項目通過廣東省能源局節能審查

日前,半能源能審廣東省能源局發布廣東芯粵能半導體有限公司“面向車規級和工控領域的導體東省碳化硅芯片制造項目”節能報告的審查意見:項目采用的主要技術標準和建設方案符合國家相關節能法規及節能政策的要求,原則同意該項目節能報告。碳化

根據粵能許可〔2023〕2號顯示;廣東芯粵能半導體有限公司項目主要建設內容包括:建設年產24萬片6英寸碳化硅基晶圓芯片生產線,硅芯過廣主要建構筑物包括生產廠房、片制生產調度廠房、造項研發廠房、目通綜合動力站、局節綜合倉庫、半能源能審硅烷站、導體東省化學品庫、碳化廢水處理站、硅芯過廣危險品庫、片制大宗氣站等,造項主要設備包括***、目通涂膠顯影機、刻蝕機、烘箱、高溫氧化爐管、高溫激活爐管、清洗機、冷水機組、純水制備系統、燃氣鍋爐等。項目能耗量和主要能效指標:項目建成投產后,年綜合能耗不高于10277噸標準煤(當量值),其中年電力消耗量不高于6450萬千瓦時、天然氣消耗量不高于175萬立方米;項目集成電路晶圓制造單位產品電耗不高于0.72千瓦時/平方厘米。

芯粵能半導體碳化硅芯片制造項目通過廣東省能源局節能審查

本審查意見自印發之日起兩年內,如項目未開工建設,自動失效。2022年11月21日,廣東芯粵能半導體有限公司芯片制造項目潔凈室啟動。

來源:廣東省能源局節能處

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