夜已深，翟豪中國科學院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所（以下簡稱蘇州納米所）高級工程師翟豪走出納米加工平臺的仰望超凈實驗室。但工作尚未結(jié)束，空匠他還要去樓上的心不學網(wǎng)光學平臺測試一下當晚在潔凈間剛做好的芯片。

翟豪，改新是聞科默默耕耘在微納“智”造創(chuàng)新前沿的科學家和工程師中的一員。他們一邊洞察細微，芯一邊仰望星空。翟豪因為顯微鏡下結(jié)構(gòu)觀測得越細致，仰望未來“芯”空的空匠藍圖便描繪得越清晰。

 翟豪在光學平臺調(diào)試測試鏡組。心不學網(wǎng)蘇州納米所供圖

年少立志，改新勤練內(nèi)功不停步

翟豪的聞科叔外公年輕時在中國科學院聲學研究所工作。當?shù)院肋€是芯小學生時，叔外公就經(jīng)常帶他參觀自己的工作單位，并經(jīng)常對他說：“任何人、任何事都可能會欺騙你，但物理規(guī)律不會，你只有比別人更透徹地理解它、掌握它、運用它，才能不用看別國臉色，受他人制裁。”

叔外公還喜歡帶翟豪一起逛天文館。天上星星的光譜中蘊含了大量信息，是物理規(guī)律最佳的檢驗地。在諸多物理常數(shù)中，翟豪最喜歡1/137這個精細結(jié)構(gòu)常數(shù)，因為它蘊藏著這片宇宙星空的終極奧秘。

由于早早受到科學啟蒙，中學時的翟豪便自學了微積分、普通物理學等大學課程，并多次在全國物理競賽及化學競賽中獲獎。2006年，翟豪考入中南大學化學升華班，后被推薦免試攻讀研究生，畢業(yè)后來到蘇州納米所納米加工平臺工作。在平臺負責人的部署和指導下，翟豪開始接觸芯片級原子器件的原理、制造及測試。

然而，原本信心滿滿的翟豪卻在實驗室中備受挫折。為了把工作做好，翟豪下班后就回家自學半導體物理、微電子技術(shù)、原子光學等基礎(chǔ)知識，但是其工藝能力提升仍異常緩慢。

紙上得來終覺淺，絕知此事要躬行。為了快速提升工藝能力，翟豪天天“泡”在實驗室和工藝員打成一片。他不懂就問，仿佛又回到了讀研的那段時光。在打下堅實基礎(chǔ)的同時，翟豪的研究工作慢慢有了起色，在制備的原子氣室的原子精細結(jié)構(gòu)光譜中，他又看到了1/137。微觀的盡頭就是那片令他著迷的星空。

不漏掉一個細節(jié)，突破原子氣室芯片封鎖

芯片級原子器件通過激光器產(chǎn)生泵浦光和探測光，并對原子氣室中的堿金屬原子進行量子態(tài)調(diào)控和探測，從而實現(xiàn)高精度弱磁探測、時頻信號輸出等功能，被廣泛應用于定位、導航、勘測、通信等技術(shù)領(lǐng)域，是關(guān)乎國家安全系統(tǒng)建設的關(guān)鍵元器件。

在芯片級原子器件關(guān)鍵制造技術(shù)領(lǐng)域，美國一直走在世界前列。由于技術(shù)封鎖，缺乏第一手設計資料，國內(nèi)的相關(guān)研究工作困難重重。

為攻克這一技術(shù)難關(guān)，2016年，在研究所支持下，翟豪依托納米加工平臺的光刻機、等離子體刻蝕機等半導體工藝設備，憑借自己對原子光學和物理化學等基礎(chǔ)理論較為深刻的認知，展開了針對原子器件核心部件——原子氣室芯片的艱苦技術(shù)攻關(guān)。

起初，由于原子器件制備的關(guān)鍵工藝與現(xiàn)行半導體工藝不兼容，沒有專用設備可用，加之試驗材料——提純同位素的價格非常昂貴，每克高達10萬元，大批量使用根本無法承受，導致研究工作的開展困難重重。

試驗方案設計必須反復討論、慎之又慎，試驗操作必須平心靜氣、穩(wěn)之又穩(wěn)，必須盡可能從每一次寶貴的試驗中得到有用線索，從每一次失敗中分析出更多可能因素。為了最大程度節(jié)省昂貴的試驗原料，翟豪苦練手腕手指的精細動作，提高操作穩(wěn)定性，以至于同事們都調(diào)侃他的右手穩(wěn)得像分析天平。

憑著“不漏掉任何一個細節(jié)，不放過任何一個現(xiàn)象”的鉆研精神，經(jīng)過兩年的艱苦攻關(guān)，在超凈實驗室熬過了無數(shù)個通宵、經(jīng)歷了無數(shù)次失敗之后，翟豪終于總結(jié)出一套可靠的工藝方案，解決了同位素原子操控難題，制造出首個單腔MEMS原子氣室。

該研究成果有力支撐了研究所多個原子器件項目的順利開展，并在進一步改進和優(yōu)化后，實現(xiàn)了原子氣室的工程化制造。該技術(shù)不但獲得國家發(fā)明專利4項，而且實現(xiàn)了作價800余萬元的技術(shù)成果轉(zhuǎn)化應用，有力推動了相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

弘揚工匠精神，一群人優(yōu)秀才是真正的優(yōu)秀

通過承擔多項國家級、省部級研究項目，以及自身長期不懈的努力，翟豪最終磨礪出了精湛的微納加工技藝，成長為支撐研究所重大科研攻關(guān)的“工匠”。

難能可貴的是，翟豪不僅是一名好“工匠”，更是一位辛勤育人的好“園丁”。他在努力完成國家科研任務的同時，還將多年積累掌握的微納加工技術(shù)傾囊相授，為國家培養(yǎng)、培訓相關(guān)領(lǐng)域高技能人才。

多年來，他參與講授了電子束工藝、光刻工藝、電路基礎(chǔ)等蘇州工業(yè)園區(qū)納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)高技能人才精品課程，并連續(xù)4年參與蘇州工業(yè)園區(qū)高技能大賽命題、培訓、裁判、閱卷工作。通過以點帶面，有力提高了園區(qū)多家單位人才的專業(yè)技術(shù)水平。

在精品課程授課時，除了講解硬核的專業(yè)技能知識，翟豪還十分注重科學家精神的傳承和弘揚。他常用身邊科學家、工程師的故事鼓勵大家不負時代使命、心系國家發(fā)展，為實現(xiàn)高水平科技自立自強貢獻自己的力量。

“一個人優(yōu)秀不是真正的優(yōu)秀，一群人優(yōu)秀才是真正的優(yōu)秀。”這是翟豪一直秉持的理念。如今，已經(jīng)扎根蘇州納米所11年的他依然“匠”心不改，在微納“智”造前沿領(lǐng)域不斷耕耘，與廣大科研工作者一同奮戰(zhàn)在搶占科技制高點的新征程上。

（作者單位：蘇州納米所）