中國近年來向著科技自立自強(qiáng)的核心方向邁出了堅(jiān)定的步伐，核心技術(shù)不斷突破，技術(shù)進(jìn)入高端儀器設(shè)備持續(xù)涌現(xiàn)。突破透射近日消息，國產(chǎn)由蘇州博眾儀器科技有限公司（簡稱博眾儀器）自主研發(fā)的電顯200kV透射電子顯微鏡BZ-F200已經(jīng)進(jìn)入了小批試產(chǎn)階段，這標(biāo)志著國產(chǎn)首臺200kV透射電子顯微鏡取得重大突破。微鏡透射電子顯微鏡是小批半導(dǎo)體、生命科學(xué)、量試材料科學(xué)等領(lǐng)域不可或缺的核心高端科學(xué)儀器。國內(nèi)市場對透射電子顯微鏡需求巨大，技術(shù)進(jìn)入且對本土化的突破透射生產(chǎn)和供應(yīng)有著強(qiáng)烈需求。
博眾儀器透射電子顯微鏡總裝車間
博眾儀器自成立以來，國產(chǎn)專注于透射電子顯微鏡產(chǎn)品的電顯研發(fā)，攻克了電子光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)、微鏡超精密加工與裝配、小批合軸聯(lián)調(diào)、納米級精度測角臺等一系列核心技術(shù)，于2022年7月完成了工程樣機(jī)的研制，達(dá)到了預(yù)期目標(biāo)，并在半導(dǎo)體、生命科學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域得到了應(yīng)用驗(yàn)證。此后該公司又開發(fā)了第二代透射電子顯微鏡產(chǎn)品 BZ-F200，其性能指標(biāo)同國外同類電鏡水平相當(dāng)，首臺商業(yè)化產(chǎn)品交付在即。這期間公司實(shí)現(xiàn)了超高穩(wěn)定度高壓電源、場發(fā)射電子槍、熱場（肖特基）電子源、高穩(wěn)定度恒流源等核心技術(shù)與關(guān)鍵零部件的研發(fā)。
圖左一 電子源針尖與高溫比色 圖左二 電子加速陶瓷管
圖右一 200kV熱發(fā)射電子槍 圖右二 超高穩(wěn)定度高壓電源
據(jù)了解，BZ-F200這款產(chǎn)品可根據(jù)用戶需求選配熱發(fā)射電子槍或熱場發(fā)射（肖特基）電子槍，可實(shí)現(xiàn)EDS、STEM等多種功能。其工作電壓除200kV外，還可以切換至80kV、120kV等檔位。BZ-F200的鏡筒采用四級聚光鏡照明系統(tǒng)設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)微米束和納米束、平行束和會聚束模式切換。
透射電子顯微鏡的研制得到了社會各界的廣泛關(guān)注與支持。近日，全國政協(xié)委員、中國物理學(xué)會常務(wù)理事、清華大學(xué)物理系教授段文暉院士及清華大學(xué)物理系陳曦教授一行蒞臨博眾儀器考察國產(chǎn)透射電子顯微鏡產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展情況，對博眾儀器所取得的重大成果給予了高度評價(jià)，對民營企業(yè)積極參與國家戰(zhàn)略給予了充分肯定，并對加快市場化推廣提出了殷切期望。
段文暉院士考察博眾儀器
蘇州博眾儀器科技有限公司表示，未來將繼續(xù)加大研發(fā)投入，不斷提升產(chǎn)品性能和技術(shù)水平，同時(shí)拓展基于電子束核心技術(shù)的多種類產(chǎn)品，為我國在高端儀器領(lǐng)域的發(fā)展注入新活力。
責(zé)任編輯：張心怡
