據每日經濟新聞報道,刻技世界光刻機巨頭ASML亮相第三屆進博會。光刻作為全球唯一能生產EUV光刻機的機巨企業,由于ASML目前仍不能向中國出口EUV光刻機,相進所以此次展示的全方是其DUV光刻機。據了解,位展該產品可生產7nm及以上制程芯片。示光術
光刻機(Mask Aligner) 又名掩模對準曝光機,刻技曝光系統,光刻光刻系統等,是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術,把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上。
21ic家了解到,作為全球芯片作為全球芯片光刻技術的領導者,ASML(阿斯麥)以“光刻未來,攜手同行”為主題亮相第三屆進博會技術裝備展區。
在此次展會上,ASML除了展示了其整體光刻解決方案,包括先進控制能力的光刻機臺計算光刻和測量通過建模、仿真、分析等技術,讓邊緣定位精度不斷提高。同時也讓現場觀眾近距離接觸光刻機模型,同時,通過光刻小游戲,讓大家更近距離體驗光刻世界的奇妙,在趣味中體驗“光的掌門人”的日常工作。