[導讀]橫跨多重電子應用領域的意法全球領先的半導體供應商、MEMS(微機電系統)技術的半導世界領導者意法半導體于日前宣布，與新加坡A * STAR IME研究所和日本領先的和U合作制造工具供應商ULVAC合作。

· 與A*STAR的攜手新加微電子研究所(IME)和日本制造工具供應商ULVAC(愛發科株式會社)合作，以壓電式MEMS技術為重點研發方向

· 首創概念，坡成旨在加快概念驗證到量產的立世轉化，并推動壓電式MEMS在AR/VR、界首醫療和3D打印等新產品中的意法應用

· 預計2021年第二季度產出第一批晶圓，2022年底開始量產

中國，半導2020年10月30日——橫跨多重電子應用領域的和U合作全球領先的半導體供應商、MEMS(微機電系統)技術的攜手新加世界領導者意法半導體(STMicroelectronics,簡稱ST) 于日前宣布，與新加坡A * STAR IME研究所和日本領先的坡成制造工具供應商ULVAC合作，在意法半導體新加坡晶圓廠內聯合創辦一條以壓電式MEMS技術為重點研究方向的立世8英寸(200mm)晶圓研發生產線。這個全球首創的界首“Lab-in-Fab”研發生產線整合三個合作方在壓電材料、壓電式MEMS技術和晶圓制造工具領域的意法領先技術和優勢互補的研發能力，促進新材料和工藝技術創新發展，最終加快企業客戶的產品開發。

Lab-in-Fab實驗室包括意法半導體在宏茂橋工業園區內的一個新建潔凈室區，將配備三個合作方提供的工具設備和專用資源，為MEMS研發制程科學家和工程師提供工作場所。IME微電子在壓電式MEMS器件設計、工藝集成和系統集成方面的知識庫和產業驅動力將為研發生產線的發展提供積極的增值作用。IME還將提供最先進的工具設備，確保科技創新成果順利轉化為產品，全部過程都在同一地點完成。新研發生產線還將利用意法半導體現有資源，發揮在同一園區內的ST晶圓廠的規模經濟優勢。預計“Lab-in-Fab”設施將在2021年第二季度建成啟用并產出首批晶圓，在2022年底實現量產。

意法半導體模擬器件、MEMS和傳感器(AMS)產品部總裁Benedetto Vigna表示： “我們與IME和ULVAC此前已有過較長的合作經驗，這次新合作旨在共同創辦世界領先的壓電式MEMS材料、技術和產品研發中心。這個全球首創實驗室將設在意法半導體的戰略要地新加坡工廠。Lab-in-Fab將讓我們的客戶能夠輕松完成從概念可行性研究到產品量產的轉化過程。”

此次合作可增強意法半導體新加坡公司現有的制造工藝組合，并加快前景廣闊的新應用領域采用壓電式MEMS執行器，新興應用包括智能眼鏡、AR頭戴設備和激光雷達系統使用的MEMS微鏡;新興醫療設備使用的壓電微機械超聲波換能器(PMUT)，以及商用和工業用3D打印機的壓電式打印頭。

IME執行院長Dim-Lee Kwong教授表示： “IME、ST和ULVAC之間的公私合作項目構建了一個獨特的研發生產線，這個生產線將采用壓電材料開發創新產品，增強合作伙伴的競爭力。這些努力將會讓高價值的研發活動繼續扎根于新加坡，并證明新加坡仍是行業龍頭開展技術創新和發展業務的首選地區。A * STAR將致力于幫助本地中小企業開發、利用我們的技術。我們歡迎企業與IME合作，并利用我們的Lab-in -Fab實驗室設施做概念驗證。”

ULVAC執行官、高級研究員Koukou SUU博士表示：“我們很高興成為ST和IME的“Lab-in-Fab”合作伙伴，為眾多前景廣闊的未來應用開發先進的壓電式MEMS產品，這也充分證明了ULVAC在壓電MEMS制造技術解決方案市場上的領先地位。我們期待與合作伙伴密切合作，使合作圓滿成功。”

編者注

壓電式元器件已被廣泛使用幾十年，用于制造壓電式執行器或傳感器。在過去的幾年中，工藝技術的創新使MEMS行業能夠使用壓電膜研制晶圓級產品，為持續的小型化、性能改進和成本降低奠定了基礎。

2019年，意法半導體慶祝新加坡工廠成立50周年，同時宣布全新的8英寸(200mm) 晶圓生產線(SG8E)在新加坡落成開工;2020年，“Lab-in-Fab”研發生產線項目啟動。