埃瑞微半導體成立于2023年7月，體前是檢測一家半導體前道量檢測設備研發商，專注于集成電路前道工藝量檢測設備研發及制造的設備科技創新型企業，致力于為光刻工藝的埃瑞大批量生產提供以套刻誤差為代表的量測設備及其他缺陷檢測設備。此前，微半完成埃瑞微半導體在今年1月完成種子輪融資。導體道量源碼資本領投，種輪專注險峰K2VC、融資卓源資本、半導錫創投聯合投資。該輪融資用于重點打造國產化替代前道關鍵Overlay核心量測裝備的研發。
半導體前道量檢測主要應用于晶圓加工環節，對晶圓產品進行尺寸測量、缺陷檢測等，目前以廠內產線在線監控為主。前道量檢測設備具有兩大類功能，一是確保IC產線量產良率，二是定量監控生產設備，為設備驗收、維保提供依據。近年來，半導體產業快速發展，而隨著半導體設備國產替代持續推進，國產半導體前道量檢測設備的市場需求也在迅速增長。瑞微在半導體前道套刻設備領域擁有深厚的產業背景和豐富的技術經驗，因此受到資本關注。
2023年12月1日，埃瑞微半導體前道套刻設備總部項目在無錫高新區正式簽約。在簽約儀式上，埃瑞微半導體表示，下一步企業將全力以赴加快樣機研發進度，盡快成長為國產半導體檢測設備領域的龍頭企業。今年以來連續兩次融資為埃瑞微半導體提供了充足的資金，也表現了資本對埃瑞微半導體的看好。
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