MEMS加工的工廠MEMS產業早在發展初期，就呈現波浪式的類型發展狀態。早期一些半導體公司就把MEMS加入到其能生產的代工器件范圍，同樣的工廠一些晶圓廠也逐漸成為MEMS器件加工公司。
但是類型每家MEMS代工公司都有自己特有的優勢，不同的代工MEMS代工，不同的工廠起跑線。總的類型來說，都是代工為了吸引符合各自特點的客戶而采取不同的策略。
MEMS代工工廠大致可分為四個類型：
1.向硅晶圓代工廠提供MEMS代工服務
2.OEM供應商的工廠MEMS代工廠
3. IDM的MEMS代工廠
4.純MEMS代工廠。
從1和2代工類型來看，類型MEMS代工選擇IDM或者OEM是各有利弊的。IDM的發展已經有二三十年了，但是客戶關心的知識產權安全問題一直沒能得到很好的解決。
所以，對于晶圓代工來說，他們則是把重點放在工藝和客戶上。純MEMS代工公司是可以同時處理多種工藝和多個客戶的，是最具變通的模式。
不同類型MEMS代工，在技術上也是各有差異。
大多情況，MEMS芯片和ASIC芯片分別制造，然后通過系統級封裝或鍵合工藝集成在一起。對于設計者來說，封裝集成的靈活性更大。
而一些MEMS代工提供MEMS-CMOS工藝，可將兩個芯片集成為單芯片，它的好處是：降低功耗、高速和低寄生效應。需要權衡的是制造復雜性的增加和熱預算的減少。
為了適應市場的快速發展，MEMS代工公司還能提供多種堆疊技術，比如3DTSV、2.5D中介層等。
隨著電子市場的火爆，MEMS代工的需求也日益提升，也促使MEMS代工的產品在體積上、成本上都變得越來越小。
