夜已深，翟豪中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所（以下簡稱蘇州納米所）高級工程師翟豪走出納米加工平臺的仰望超凈實驗室。但工作尚未結束，空匠他還要去樓上的心不學網光學平臺測試一下當晚在潔凈間剛做好的芯片。

翟豪，改新是聞科默默耕耘在微納“智”造創新前沿的科學家和工程師中的一員。他們一邊洞察細微，芯一邊仰望星空。翟豪因為顯微鏡下結構觀測得越細致，仰望未來“芯”空的空匠藍圖便描繪得越清晰。

 翟豪在光學平臺調試測試鏡組。心不學網蘇州納米所供圖

年少立志，改新勤練內功不停步

翟豪的聞科叔外公年輕時在中國科學院聲學研究所工作。當翟豪還是芯小學生時，叔外公就經常帶他參觀自己的工作單位，并經常對他說：“任何人、任何事都可能會欺騙你，但物理規律不會，你只有比別人更透徹地理解它、掌握它、運用它，才能不用看別國臉色，受他人制裁?！?/p>

叔外公還喜歡帶翟豪一起逛天文館。天上星星的光譜中蘊含了大量信息，是物理規律最佳的檢驗地。在諸多物理常數中，翟豪最喜歡1/137這個精細結構常數，因為它蘊藏著這片宇宙星空的終極奧秘。

由于早早受到科學啟蒙，中學時的翟豪便自學了微積分、普通物理學等大學課程，并多次在全國物理競賽及化學競賽中獲獎。2006年，翟豪考入中南大學化學升華班，后被推薦免試攻讀研究生，畢業后來到蘇州納米所納米加工平臺工作。在平臺負責人的部署和指導下，翟豪開始接觸芯片級原子器件的原理、制造及測試。

然而，原本信心滿滿的翟豪卻在實驗室中備受挫折。為了把工作做好，翟豪下班后就回家自學半導體物理、微電子技術、原子光學等基礎知識，但是其工藝能力提升仍異常緩慢。

紙上得來終覺淺，絕知此事要躬行。為了快速提升工藝能力，翟豪天天“泡”在實驗室和工藝員打成一片。他不懂就問，仿佛又回到了讀研的那段時光。在打下堅實基礎的同時，翟豪的研究工作慢慢有了起色，在制備的原子氣室的原子精細結構光譜中，他又看到了1/137。微觀的盡頭就是那片令他著迷的星空。

不漏掉一個細節，突破原子氣室芯片封鎖

芯片級原子器件通過激光器產生泵浦光和探測光，并對原子氣室中的堿金屬原子進行量子態調控和探測，從而實現高精度弱磁探測、時頻信號輸出等功能，被廣泛應用于定位、導航、勘測、通信等技術領域，是關乎國家安全系統建設的關鍵元器件。

在芯片級原子器件關鍵制造技術領域，美國一直走在世界前列。由于技術封鎖，缺乏第一手設計資料，國內的相關研究工作困難重重。

為攻克這一技術難關，2016年，在研究所支持下，翟豪依托納米加工平臺的光刻機、等離子體刻蝕機等半導體工藝設備，憑借自己對原子光學和物理化學等基礎理論較為深刻的認知，展開了針對原子器件核心部件——原子氣室芯片的艱苦技術攻關。

起初，由于原子器件制備的關鍵工藝與現行半導體工藝不兼容，沒有專用設備可用，加之試驗材料——提純同位素的價格非常昂貴，每克高達10萬元，大批量使用根本無法承受，導致研究工作的開展困難重重。

試驗方案設計必須反復討論、慎之又慎，試驗操作必須平心靜氣、穩之又穩，必須盡可能從每一次寶貴的試驗中得到有用線索，從每一次失敗中分析出更多可能因素。為了最大程度節省昂貴的試驗原料，翟豪苦練手腕手指的精細動作，提高操作穩定性，以至于同事們都調侃他的右手穩得像分析天平。

憑著“不漏掉任何一個細節，不放過任何一個現象”的鉆研精神，經過兩年的艱苦攻關，在超凈實驗室熬過了無數個通宵、經歷了無數次失敗之后，翟豪終于總結出一套可靠的工藝方案，解決了同位素原子操控難題，制造出首個單腔MEMS原子氣室。

該研究成果有力支撐了研究所多個原子器件項目的順利開展，并在進一步改進和優化后，實現了原子氣室的工程化制造。該技術不但獲得國家發明專利4項，而且實現了作價800余萬元的技術成果轉化應用，有力推動了相關產業發展。

弘揚工匠精神，一群人優秀才是真正的優秀

通過承擔多項國家級、省部級研究項目，以及自身長期不懈的努力，翟豪最終磨礪出了精湛的微納加工技藝，成長為支撐研究所重大科研攻關的“工匠”。

難能可貴的是，翟豪不僅是一名好“工匠”，更是一位辛勤育人的好“園丁”。他在努力完成國家科研任務的同時，還將多年積累掌握的微納加工技術傾囊相授，為國家培養、培訓相關領域高技能人才。

多年來，他參與講授了電子束工藝、光刻工藝、電路基礎等蘇州工業園區納米技術產業高技能人才精品課程，并連續4年參與蘇州工業園區高技能大賽命題、培訓、裁判、閱卷工作。通過以點帶面，有力提高了園區多家單位人才的專業技術水平。

在精品課程授課時，除了講解硬核的專業技能知識，翟豪還十分注重科學家精神的傳承和弘揚。他常用身邊科學家、工程師的故事鼓勵大家不負時代使命、心系國家發展，為實現高水平科技自立自強貢獻自己的力量。

“一個人優秀不是真正的優秀，一群人優秀才是真正的優秀。”這是翟豪一直秉持的理念。如今，已經扎根蘇州納米所11年的他依然“匠”心不改，在微納“智”造前沿領域不斷耕耘，與廣大科研工作者一同奮戰在搶占科技制高點的新征程上。

（作者單位：蘇州納米所）