項(xiàng)目名稱：北京懷柔實(shí)驗(yàn)室2023年第二批碳化硅外延科研設(shè)備采購項(xiàng)目
項(xiàng)目編號(hào)：1495-234thhrlab07/02
招標(biāo)范圍：產(chǎn)品名稱：外延厚度表征儀 數(shù)量：1臺(tái) 簡要技術(shù)規(guī)格:外延厚度表征儀是外延一種半導(dǎo)體材料檢測設(shè)備，通過傅里葉變換紅外(FTIR)干涉測厚方法實(shí)現(xiàn)對(duì)1-150μm 6-8英寸碳化硅外延層的厚度厚度測量，具有0.1μm以下的表征標(biāo)結(jié)測量重復(fù)性。
招標(biāo)機(jī)構(gòu)：天恒招標(biāo)有限公司
招標(biāo)人：北京懷柔實(shí)驗(yàn)室
開標(biāo)時(shí)間：2023-09-12 09:30
公示時(shí)間：2023-09-15 11:05 - 2023-09-20 23:59
中標(biāo)結(jié)果公告時(shí)間：2023-09-21 14:16
中標(biāo)人：德儀先進(jìn)有限公司
制造商：Onto INnovation
制造商國家或地區(qū)：美國
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